仪器仪表工业论文_电子探针定量分析影响因素
2021/12/01文章目录
1 待测样品影响因素
1.1 待测样品表面平整度
1.2 样品导电性
1.3 待测样品微区均匀性
1.4 待测样品元素迁移（样品损伤）
2 标准样品的影响
2.1 标准样品的要求
2.2 标准样品键合状态
2.3 标准样品氧化
3 测试过程的影响因素
3.1 电压束流
3.2 样品位置
3.3 元素缺失
3.4 元素重叠峰
3.5 电子束直径及电子束扫描方式
3.6 环境温度
3.7 碳污染
3.8 背底校正
3.9 氧化物定量分析
4 结语
文章摘要:电子探针定量点分析是精确测量块体材料微区元素浓度的有效方法。元素定量分析干扰因素较多,在实际应用中实验结果经常偏离元素浓度总量(100%),上下偏差达2%以上。通过浅析元素定量分析的影响因素,提出应对措施并指导同行业者避免干扰因素的产生,确保定量分析结果尽量控制元素浓度总量在99%～101%之间。
文章关键词:
论文作者:于凤云 刘晓英 李春艳
作者单位:大连理工大学材料科学与工程学院
论文DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2021.21.044
论文分类号: TH83
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